規(guī)格型號:EPMA-1720
制?造?廠:日本島津
應(yīng)用范圍:微區(qū)元素種類含量分析、材料微觀組織及斷口形貌。
參數(shù)范圍:
發(fā)射源:鎢燈絲
譜儀道數(shù):4道波譜儀
分析元素:4Be~92U
分辨率:二次電子像3nm
放大倍率:40~100000倍
加速電壓:0.1kV ~30kV
電子束流:0.1 nA ~1μA